中微惠創科技（上海）有限公司（簡稱“中微惠創”）為中微電晶體設備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）的全資子公司，於2014年12月在上海臨港注册成立。 中微惠創著力於泛半導體行業的環保設備、新能源等領域產品的研發、生產和銷售。 中微惠傷口向電子工業開發設計的VOC（揮發性有機氣體）處理設備已廣泛用於改善面板顯示行業生產線的潔淨室工作環境； 中微惠創生產製造的國產化Scrubber設備將應用於集成電路、面板顯示、LED與太陽能行業等。