中微南昌
南昌中微電晶體設備有限公司(簡稱“南昌中微”)是中微電晶體設備(上海)股份有限公司(證券簡稱:“中微公司”,證券代碼:688012)的全資子公司,於2017年12月注册於南昌高新技術產業開發區。 南昌中微公司註冊資本為人民幣2500萬元,是國家高新技術企業,主要產品有用於LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備,和用於集成電路晶片生產的电浆刻蝕設備。 公司的MOCVD設備已在客戶生產線上投入量產並在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場具有競爭優勢,公司的电浆刻蝕設備已被廣泛應用於國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用。
南昌中微公司於2018年3月在南昌開始設備製造,9月實現規模生產,2018年、2019年兩年實現年均產能100腔,年均產值10個億。 公司於2019年通過了ISO9001、ISO14000、ISO45000體系認證。
公司正在投資建設中的南昌中微生產研發基地項目(項目二期)總投資約10億元,總建築面積約14萬平方米,新廠房已於2022年5月逐步投產; 新廠房項目達產後將實現年產200腔體MOCVD設備的生產能力,實現年產能电浆刻蝕設備100腔。