中微具有自主知識產權的MOCVD設備Prismo A7 ® 可配置多達4個反應腔，可以同時加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工藝能力還能延展到生長8英寸外延晶片。 每個反應腔都可以獨立控制，這一設計可以實現優异的生產靈活性。 配備了716毫米託盤的中微Prismo A7 MOCVD設備專為LED高產能而設計，每個反應腔的產量是前一代MOCVD設備Prismo D- BLUE ® 的2倍多，極大地提高了組織產能，能有效降低LED外延片的生產成本。