中微具有自主知識產權的MOCVD設備可配置多達4個反應腔,可以同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。 每個反應腔都可以獨立控制,這一設計可以實現優异的生產靈活性。 Prismo D-BLUE ® 是首臺被主流LED生產線採用並進行大批量LED和功率器件外延片生產的國產MOCVD設備。
首臺被主流LED生產線採用並進行大批量LED外延片生產的國產MOCVD設備
可獨立控制的反應腔運行模式
自主的即時監控系統
精准的參數控制
全自動化處理
符合電晶體標準的軟件控制系統
優异的工藝重複性,簡化工藝調整需求,提高產品良率
19英寸大尺寸託盤極大地提高了設備組織產能,降低了生產成本
集成頂蓋升降機构,簡化設備維護,提高設備利用率
符合SEMI S2安全標準