中微南昌
南昌中微半导体设备有限公司(简称“南昌中微”)是中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称:“中微公司”,证券代码:688012)的全资子公司,于2017年12月注册于南昌高新技术产业开发区。南昌中微公司注册资本为人民币2500万元,是国家高新技术企业,主要产品有用于 LED和功率器件外延片生产的 MOCVD 设备,和用于集成电路芯片生产的等离子体刻蚀设备。公司的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产并在全球氮化镓基 LED MOCVD 设备市场占据领先地位,公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。

南昌中微公司于2018年3月在南昌开始设备制造,9月实现规模生产,2018年、2019年两年实现年均产能100腔,年均产值10个亿。公司于2019年通过了ISO9001、ISO14000、ISO45000体系认证。

公司正在投资建设中的南昌中微生产研发基地项目(项目二期)总投资约10亿元,总建筑面积约14万平方米,新厂房预计2022年6月正式投产;新厂房项目达产后将实现年产200腔体MOCVD设备的生产能力,实现年产能等离子体刻蚀设备100腔。