中微具有自主知识产权的Prismo UniMax® MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可同时加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化镓基蓝绿光Mini LED外延晶片,通过石墨盘的调整,可扩展至同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,其工艺能力还可延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一创新设计具备优异的生产灵活性。中微Prismo UniMax® MOCVD设备配置了新颖的局部温度补偿加热系统,专为高性能Mini LED量产而设计,具备优异的产出波长均匀性及产出稳定性。此外,Prismo UniMax® MOCVD设备配置了785mm大直径石墨托盘,极大地提高了设备产能,并有效地降低了Mini LED外延片的生产成本。

Prismo UniMax®

为高端显示应用所需的Mini LED大规模生产提供的MOCVD外延解决方案

产品特点

自主的实时监控系统

精准的参数控制

自动化的控制与维护功能

符合半导体标准的软件控制系统

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竞争优势

可独立控制的反应腔运行模式

新颖的局部温度调控加热系统

优异的LED波长均匀性