中微具有自主知识产权的MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可以同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工艺能力还能延展到生长6英寸和8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现优异的生产灵活性。Prismo D-BLUE®是首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD设备。

Prismo D-BLUE®

首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED外延片生产的国产MOCVD设备

产品特点

可独立控制的反应腔运行模式

自主的实时监控系统

精准的参数控制

全自动化处理

符合半导体标准的软件控制系统

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竞争优势

优异的工艺重复性,简化工艺调整需求,提高产品良率

19英寸大尺寸托盘极大地提高了设备单位产能,降低了生产成本

集成顶盖升降机构,简化设备维护,提高设备利用率

符合SEMI S2安全标准,提升设备的安全性能