中微具有自主知识产权的MOCVD设备Prismo A7®可配置多达4个反应腔,可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现优异的生产灵活性。 配备了 716 毫米托盘的中微 Prismo A7 MOCVD 设备专为 LED 高产能而设计,每个反应腔的产量是前一代MOCVD 设备 Prismo D- BLUE® 的 2 倍多,极大地提高了单位产能,能有效降低 LED 外延片的生产成本。

Prismo A7®

用于LED外延片大规模量产的MOCVD设备

产品特点

可独立控制的反应腔运行模式

自主的实时监控系统

精准的参数控制

全自动化处理

符合半导体标准的软件控制系统

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竞争优势

优异的工艺重复性,简化工艺调整需求,提高产品良率

28英寸超大尺寸托盘,产量是前一代MOCVD设备Prismo D- BLUE®的2倍多,极大地降低了生产成本

集成顶盖升降机构,简化设备维护,提高设备利用率

符合SEMI S2安全标准,提升设备的安全性能