中微具有自主知識產權的Prismo UniMax ® MOCVD設備可配置多達4個反應腔，可同時加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化鎵基藍綠光Mini LED外延晶片，通過石墨盤的調整，可擴展至同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工藝能力還可延展到生長8英寸外延晶片。 每個反應腔都可以獨立控制，這一創新設計具備優异的生產靈活性。 中微Prismo UniMax ® MOCVD設備配置了新穎的局部溫度補償加熱系統，專為高性能Mini LED量產而設計，具備優异的產出波長均勻性及產出穩定性。 此外，Prismo UniMax ® MOCVD設備配置了785mm大直徑石墨託盤，極大地提高了設備產能，並有效地降低了Mini LED外延片的生產成本。